Debido a que las moléculas de gas no son filtradas incluso por los más eficaces sistemas ULPA, son necesarios filtros de fase de gas para prevenir la contaminación molecular en el aire. Infiltro fabrica filtros de carbón activado de alta resistencia para eliminar moléculas gaseosas no deseadas que afectarían negativamente a la tasa de rendimiento durante la producción microelectrónica.
No todos los fabricantes microelectrónicos utilizan filtros de fase de gas, pero como la industria se hace más consciente del efecto de la AMC (Contaminación Molecular del Aire, por sus siglas en inglés) en la tasa de rendimiento, el uso de filtración de fase gaseosa está aumentando cada año debido a la mayor conciencia de los fabricantes sobre este problema.
